半導體製造業晶圓廠設施安全檢核指引—煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、濕式清洗檯

本指引乃針對晶圓廠中四種負壓設施—煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、濕式清洗檯—提出安全查核項目。提供業界採購相關設施及工作人員檢查時之安全標準參考，期能降低事故之發生，提昇晶圓廠之安全衛生水準。

• 書籍分類 ：社會/科學>社福醫療
• 出版品分類：圖書
• 主題分類： 衛生福利勞動>醫療保健
• 施政分類： 衛生及社會安全>國民健康

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• 適用對象：成人(學術性)
• 關鍵詞：半導體製造業，煙控系統，燻煙系統，洗滌塔，濕式清洗檯
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