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半導體業作業環境空氣中揮發性有機化合物氣相層析質譜儀分析方法建立

半導體業作業環境空氣中揮發性有機化合物氣相層析質譜儀分析方法建立

  • 統一編號GPN:033144890341
  • 出版日期:2000/12
  • 作/編/譯者:羅俊光
  • 語言:中文
  • 頁數:62
  • 裝訂:平裝


書籍介紹

本研究是利用自動化連續採樣器進行24小時採樣,每小時採一次,採樣後以冷凍濃縮自動熱脫附儀配合氣象層析質譜儀,對半導體作業環境中之丙酮、異丙醇及甲苯進行定性及定量分析。

分類 其他詳細資訊
  • 出版品網址(線上版或試閱版):連結
  • 適用對象:成人(學術性)
  • 關鍵詞:熱脫附,作業環境,科學園區半導體廠
  • 附件:其他:無
  • 頁/張/片數:62
授權資訊
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