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半導體製程導管中易燃氣膠尾氣沈著防制之探討

半導體製程導管中易燃氣膠尾氣沈著防制之探討

  • 統一編號GPN：033144900184
  • 出版日期：2001/03
  • 作/編/譯者：張振平
  • 語言：中文
  • 頁數：50
  • 裝訂：平裝


書籍介紹

目的在於避免半導體廠因為尾氣處理不當而造成火災，藉著了解半導體製造時所產生的廢氣成分及其粒徑分布，找出處理方式。目前的方法利用流體力學的方式減少粒狀物質沈積於管壁的機會。

分類 其他詳細資訊
  • 出版品網址（線上版或試閱版)：連結
  • 適用對象：成人(學術性)
  • 關鍵詞：尾氣，熱泳，氣膠，半導體
  • 附件：其他：無
  • 頁/張/片數：50
授權資訊
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