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半導體製程導管中易燃氣膠尾氣沈著防制之探討

半導體製程導管中易燃氣膠尾氣沈著防制之探討

  • 統一編號GPN:033144900184
  • 出版日期:2001/03
  • 作/編/譯者:張振平
  • 語言:中文
  • 頁數:50
  • 裝訂:平裝


書籍介紹

目的在於避免半導體廠因為尾氣處理不當而造成火災,藉著了解半導體製造時所產生的廢氣成分及其粒徑分布,找出處理方式。目前的方法利用流體力學的方式減少粒狀物質沈積於管壁的機會。

分類 其他詳細資訊
  • 出版品網址(線上版或試閱版):連結
  • 適用對象:成人(學術性)
  • 關鍵詞:尾氣,熱泳,氣膠,半導體
  • 附件:其他:無
  • 頁/張/片數:50
授權資訊
  • 著作財產權管理機關或擁有者: