調查結果顯示石化業平均使用7種化學物質，測定3.9種，半導體業平均17種，測定6.1種，事業單位主要考慮為定點區域採樣，測定點數各工廠差距很大，石化業平均每家工廠測定27組化學物質，半導體業80.6組，實際花費每家約五萬元，而分析濃度低於檢量下限，石化業約66%，半導體業更高達80%。