在半導體製程上電漿技術可說是極其重要的關鍵技術，包括蝕刻製程、薄膜製程，均大量使用電漿技術。本文除說明上述製程之應用概念外，尚更進一步分析其產品市場趨勢及技術發展動向，協助產官學研掌握正確其市場脈動及技術趨勢。