我國半導體設備市場為全球第三大，但是製程設備一直是半導體相關產業較弱之一環，尤其是在晶圓廠所使用之前段設備部分，市場幾乎為外商所壟斷，將針對客觀環境與政府政策作產業發展之建議。此外本書亦將目前研發熱絡之銅製程設備作介紹，提供相關業者參考。