微系統技術(Micro Systems Technology)是一種結合半導體技術與超精密加工技術的前瞻技術。由於微系統技術產品及技術具有可以低成本、大量生產製造,可減少體積、重量及能源消耗,高功能性,能提高可靠性及強韌性等優點,因此,被認為將是二十一世紀產業技術的主流項目。