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晶圓廠化學氣相沉積製程預防保養作業化學性危害評估調查

晶圓廠化學氣相沉積製程預防保養作業化學性危害評估調查

  • 統一編號GPN：033144890242
  • 出版日期：2000/10
  • 作/編/譯者：張振平，游逸駿
  • 語言：中文
  • 頁數：60
  • 裝訂：平裝


書籍介紹

經由傅立葉紅外光譜儀於晶圓廠之化學氣相沉積機台維護時溢散出某些刺激異味氣體進行即時監測，以決定這些對人體有影響的污染物種類及其暴露量，評估人員暴露程度，及提供勞工個人防護及工程改善的依據。

分類 其他詳細資訊
  • 出版品網址（線上版或試閱版)：連結
  • 適用對象：成人(學術性)
  • 關鍵詞：晶圓製造，化學氣相沈積，環境測定，傅立葉紅外光譜儀
  • 附件：其他：無
  • 頁/張/片數：60
授權資訊
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