12吋晶圓廠將是下一波IC場投資之主流，對於大尺寸生產設備之需求增加，全球設備廠商莫不積極開發相關製程設備，本研究將針對12吋晶圓廠投資概況、設備開發與市場規模，作整體資料分析與整理，期能掌握設備市場興衰之動向。