書籍介紹
超臨界流體是近年來快速發展的技術，具有臨界狀態下兼具氣相和液相特性，具有高溶解力及高擴散性，除了在食品純化、天然物萃取、纖維染色技術、半導體清洗、特殊藥用成分顆粒生產….等用途上都能發揮用途。超臨界流體在半導體晶片清洗方面，具有不用有機溶劑、不需使用高腐蝕性強酸強鹼的優點，未來半導體對環保要求日趨嚴格，，為了確保我國在半導體方面的競爭優勢，國內有半導體清洗方面相關研究。
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- 適用對象：成人(學術性)
- 關鍵詞：超臨界流體，萃取，超臨界氧化，奈米
- 附件：其他：無
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