微奈米技術研究領域之關鍵尺寸或形狀精度為位於次微米及奈米等級的技術。藉由控制與運用奈米尺度下獨特的物質特性，以建構特定的材料、產品與工具，應用的範圍包含了機械、材料、化學、光學、量測、軍事與生命科學等領域。本研究將著重於微奈米技術在能源產業及電機產業之應用分析。