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奈米碳管毒性氣體偵測器研發—NO2，NH3

奈米碳管毒性氣體偵測器研發—NO2，NH3



書籍介紹

利用微奈米機電與 E-beam lithography 製程，設計製作出感測元件電極。然後利用化學氣相沉積法(CVD)成長(growth)出奈米碳管，完成奈米碳管場效電晶體式毒性氣體感測器。

分類 其他詳細資訊
  • 適用對象：成人(學術性)
  • 關鍵詞：毒性氣體測量，微機電系統，氣體感測器，奈米碳管
  • 附件：其他：無
  • 頁/張/片數：66
授權資訊
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