書籍介紹
本書就低介電材料、絕緣層上矽、磁阻記憶體、原子層沈積及極短紫外光微影這五種技術，利用專利地圖、科學文獻及研究計畫的分析，為國科會領域策略規劃而提供奈米電子相關研究議題，評估全球在前瞻技術發展趨勢，以作為國內策訂前瞻技術研究之參考資料。
分類
- 書籍分類 ：財金產業
- 出版品分類：圖書
- 主題分類：
財政經濟
- 施政分類：
經濟貿易
其他詳細資訊
- 英文題名：The Development Trend of Nanoelectronics Technology
- 適用對象：成人(學術性)
- 關鍵詞：低介電材料，Low，k Material，絕緣層上矽，Silicon on Insulator，S
- 附件：其他：
- 頁/張/片數：39
授權資訊
- 著作財產權管理機關或擁有者：經濟部
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